Sistema de dos cámaras

Una sonda de proximidad se utiliza cuando la precisión de las dosis depende de pequeñas fluctuaciones del baño.

Ventajas:

• no hay acumulación de óxido
• barato

Sistema de carga

Se utiliza una sonda sumergida en la cámara de fusión para obtener mayores fluctuaciones en la carga.

Monitorización con sonda sumergida y de proximidad 1 sistema de control electrónico para Sistema de bajo coste para ciclos de proceso sencillos.

Solución alternativa: monitorización con una sonda sumergida y una sonda de proximidad. Dos sistemas de control electrónico para una posibilidad de medición flexible para ciclos de proceso independientes.