Sistema de dos cámaras

Sistema de dosificación

Una sonda de proximidad se utiliza cuando la precisión de las dosis depende de pequeñas fluctuaciones del baño.

Ventajas:

• no hay acumulación de óxido
• barato

Sistema de carga

Se utiliza una sonda sumergida en la cámara de fusión para obtener mayores fluctuaciones en la carga.

Monitorización con sonda sumergida y de proximidad 1 sistema de control electrónico para Sistema de bajo coste para ciclos de proceso sencillos:

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Solución alternativa: Monitorización con una sonda sumergida y otra de proximidad 2 sistemas de control electrónico para una posibilidad de medición flexible para ciclos de proceso independientes:

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